设备参数
| 设备名称 | 镀膜设备 PECVD |
| 品类 | 光伏制造设备 |
| 子类 | C38 |
| 来源 | 设备型号库 |
| 类型 | 沉积 |
| 规格 | 管式/板式 |
| industry_ids | [25, 26] |
| 典型用途 | SiNx减反射膜 |
| 适用行业 | C38/C39 |
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