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SV-PECVD-800
表面处理设备
通用
设备参数
设备名称
SV-PECVD-800
品类
表面处理设备
子类
use
半导体薄膜沉积
type
PECVD镀膜机
brand
沈阳真空所
control
全自动控制
power_kw
30
gas_types
SiH4/NH3/N2/Ar
vacuum_pa
1.0e-3
chamber_mm
800×600×400
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数据来源：模极社产业数据库（真实采集，2026-08-16）