| 设备名称 | VCS-800 |
| 品类 | 仪器仪表制造业 |
| 子类 | |
| type | 磁控溅射/电子束蒸发 |
| category | 真空镀膜机 |
| application | 光学镜片/传感器/滤波器/晶圆功能薄膜沉积 |
| base_vacuum | {'unit': 'Pa', 'value': 5e-05} |
| category_en | Vacuum Coater |
| chamber_size | {'unit': 'mm', 'height': 800, 'diameter': 800} |
| layer_uniformity | {'unit': '%', 'value': 2} |
| substrate_holder | {'type': '行星旋转', 'unit': '片/批', 'capacity': 36} |
| coating_materials | ['Au', 'Ag', 'Al', 'SiO₂', 'TiO₂', 'ITO'] |