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光刻机(DUV)

半导体制造设备C38

设备参数

设备名称光刻机(DUV)
品类半导体制造设备
子类C38
来源设备型号库
类型光刻
industry_ids[26]
典型用途图形转移
制程节点193nm, 7~38nm
适用行业C39

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数据来源:模极社产业数据库(真实采集,2026-08-16)