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刻蚀机（等离子）
半导体制造设备
C38
设备参数
设备名称
刻蚀机（等离子）
品类
半导体制造设备
子类
C38
来源
设备型号库
类型
刻蚀
industry_ids
[26]
典型用途
介质/金属刻蚀
制程节点
14~38nm
适用行业
C39
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数据来源：模极社产业数据库（真实采集，2026-08-16）